Elektronische halfgeleidersensor voor het meten van ten minste twee van de volgende zaken:• luchtdruk, temperatuur (ook voor temperatuurcompensatie), vochtigheid en vluchtige organische verbindingen,• in een behuizing die geschikt is voor de volautomatische assemblage van printplaten of Bare Die-technologie, bevattende:• een of meer monolithische toepassingsspecifieke geïntegreerde schakelingen (ASIC's),• een of meer micro-elektromechanische sensorelementen (MEMS) vervaardigd met behulp van halfgeleidertechnologie, met mechanische componenten geplaatst in driedimensionele structuren op het halfgeleidermateriaal,van de soort die wordt gebruikt om te worden ingebouwd in producten bedoeld bij de hoofdstukken 84 tot en met 90 en 95